| 23/02 | . | выращивание эпитаксиальных слоев [3] |
| 23/04 | . | . | отложение образцов, например с использованием защитных слоев [3] |
| 23/06 | . | . | нагревание камеры для осаждения, подложки или испаряемого материала [3] |
| 23/08 | . | . | конденсацией ионизированных паров (разбрызгиванием продуктов реакции C30B 25/06) [3] |